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红外数字图象处理技术用于研究砷化镓材料中的缺陷形态分布

张福贵

张福贵. 红外数字图象处理技术用于研究砷化镓材料中的缺陷形态分布[J]. 电子与信息学报, 1988, 10(6): 563-567.
引用本文: 张福贵. 红外数字图象处理技术用于研究砷化镓材料中的缺陷形态分布[J]. 电子与信息学报, 1988, 10(6): 563-567.
Zhang Fugui. STUDY OF MORPHOLOGICAL DISTRIBUTION OF DEFECTS IN GaAs WAFERS BY INFRARED DIGITAL IMAGE PROCESSING[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1988, 10(6): 563-567.
Citation: Zhang Fugui. STUDY OF MORPHOLOGICAL DISTRIBUTION OF DEFECTS IN GaAs WAFERS BY INFRARED DIGITAL IMAGE PROCESSING[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1988, 10(6): 563-567.

红外数字图象处理技术用于研究砷化镓材料中的缺陷形态分布

STUDY OF MORPHOLOGICAL DISTRIBUTION OF DEFECTS IN GaAs WAFERS BY INFRARED DIGITAL IMAGE PROCESSING

  • 摘要: 本文介绍了一种用于研究砷化镓材料中的缺陷(比如EL2吸收特性等)的新方法:将一束波长为1.11.5m的近红外光穿过一块厚度为48mm,直径为50mm的砷化镓材料,用红外摄象机TOSHIBA 8844摄取图象,并直接送入计算机图象处理系统DATASUD,材料中的非均匀性缺陷图象,即材料中的缺陷(EL2,位错等)在截面上的分布结构形状(十字形,网状,球粒形等)就可从屏幕上观察到。本文给出了为研究这类材料设计的ZHIMAG(ZHang IMAGe)图象处理软件包和应用ZHIMAG所获得的一些结果。ZHIMAG也适用于其它类型的图象处理。
  • Fugui Zhang, Morphologie des Distributions de Defauts Dans GaAs-SI par Imagerie Infra-Rouge Numerique,These de doctorat, Montpellier, France, 1986.[2]J. Logowski, et al., Semi-insulating III-V Materials, Conf., Kahneeta, U. S. A., 1984, 130-135.[3]N. Yoyoda, et al., Defect Recongnition and Image Processing in III-V Compounds, Conf., la Grande Motte, France, 1985, 30-34.M. P. Scott, Defect Recongnition and Image Processing in III-V Compounds, Conf., La Grande Motte, France, 1985, 89-86.B. Goutheraux, Les Mesures de Conductivite Electrique en Cartographie, These Paris VI, 1985, 120-140.M. Asgarinia, Letude Experimentals des Defauts Dans GaAs-SI, Repport DEA, Montpellier, France, 1985,50-56.[4]M.R.Brozel.[J].et al., Three Dimensional Image of the Distribution of 1m Absorpton in Undoped SI-LEC. GaAs and Related Compounds, Biareitz, France.1984,:-T. Kikuta, et al., Microscopic Distribution of Deep and Shallow Levels Around Dislocation in Uadopted SI-GaAs, GaAs and Related Compounds, Biareitz, France, 1984,72-76.
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出版历程
  • 收稿日期:  1986-12-17
  • 修回日期:  1988-06-05
  • 刊出日期:  1988-11-19

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