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电子束聚焦偏转系统中透镜和偏转器不对中装配误差效应的数值计算

朱协卿 刘浩宁

朱协卿, 刘浩宁. 电子束聚焦偏转系统中透镜和偏转器不对中装配误差效应的数值计算[J]. 电子与信息学报, 1990, 12(4): 402-414.
引用本文: 朱协卿, 刘浩宁. 电子束聚焦偏转系统中透镜和偏转器不对中装配误差效应的数值计算[J]. 电子与信息学报, 1990, 12(4): 402-414.
Zhu Xieqing, Liu Haoning. NUMERICAL COMPUTATION OF MISALIGNMENT ASSEMBLING ERROR EFFECT OF LENSES AND DEFLECTORSIN ELECTRON BEAM FOCUSING ANDDEFLECTION SYSTEMS[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1990, 12(4): 402-414.
Citation: Zhu Xieqing, Liu Haoning. NUMERICAL COMPUTATION OF MISALIGNMENT ASSEMBLING ERROR EFFECT OF LENSES AND DEFLECTORSIN ELECTRON BEAM FOCUSING ANDDEFLECTION SYSTEMS[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1990, 12(4): 402-414.

电子束聚焦偏转系统中透镜和偏转器不对中装配误差效应的数值计算

NUMERICAL COMPUTATION OF MISALIGNMENT ASSEMBLING ERROR EFFECT OF LENSES AND DEFLECTORSIN ELECTRON BEAM FOCUSING ANDDEFLECTION SYSTEMS

  • 摘要: 本文讨论了透镜和偏转器在电子束系统中不对中装配造成的电子光学性质影响的数值计算问题,包括推导出不对中的透镜和偏转器在系统中的电磁场表示式,电子轨迹方程及象差积分式等。根据这些公式所编制的计算机程序已用来计算了若干个实例,从中可见不对中误差效应的数值计算对于设计和装配电子束聚焦偏转系统起到指导性的作用。
  • H. C. Chu, E.Munro, Optik, 61(1982)2, 121.
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出版历程
  • 收稿日期:  1988-07-25
  • 修回日期:  1900-01-01
  • 刊出日期:  1990-07-19

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