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薄栅SiO2击穿特性的实验分析和机理研究

刘红侠 郝跃

刘红侠, 郝跃. 薄栅SiO2击穿特性的实验分析和机理研究[J]. 电子与信息学报, 2001, 23(11): 1211-1215.
引用本文: 刘红侠, 郝跃. 薄栅SiO2击穿特性的实验分析和机理研究[J]. 电子与信息学报, 2001, 23(11): 1211-1215.
Liu Hongxia, Hao Yue . EXPERIMENT ANALYSIS AND MECHANISM RESEARCH ON BREAKDOWN CHARACTERISTICS OF THIN SiO2 GATE DIELECTRIC[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 2001, 23(11): 1211-1215.
Citation: Liu Hongxia, Hao Yue . EXPERIMENT ANALYSIS AND MECHANISM RESEARCH ON BREAKDOWN CHARACTERISTICS OF THIN SiO2 GATE DIELECTRIC[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 2001, 23(11): 1211-1215.

薄栅SiO2击穿特性的实验分析和机理研究

EXPERIMENT ANALYSIS AND MECHANISM RESEARCH ON BREAKDOWN CHARACTERISTICS OF THIN SiO2 GATE DIELECTRIC

  • 摘要: 该文利用衬底热空穴(SHH)注入技术分别控制注入到薄栅氧化层中的热电子和热空穴的数量,定量研究了热电子和热空穴注入对薄栅氧化层击穿的影响,提出了薄栅氧化层的经时击穿是由热电子和热空穴共同作用导致的新观点,并为薄栅氧化层的经时击穿建立了一个新的物理模型。
  • D.J. Dumin, A nodel realiating wearout to breakdown in thin oxides, IEEE Trans. on Electron Devices, 1994, ED-41(9), 1570-1580.[2]P.P. Apte, Correlation of trap generation to charge-to-breakdown (Qbd), A lhysical-damage lnodel of dielectric breakdown, IEEE Trans. on Electron Devices, 1994, ED-41(9), 1595 1602.[3]I.C. Chen, C. Hu, Electric breakdown in thin gate and tumeling oxide, IEEE Trans. on Electron.Devices, 1985, ED-32(2), 413-422.[4]C.F. Chen, C. Y. Wu, A characterization model for constant current stressed voltage time characteristics of thin thermal oxide grown on silicon substrate, J. Appl. Phys., 1986, 60(11).3926-3944.[5]C.F. Chen, C. Y. Wu, The dielectric reliability of intrinsic thin SiO2 films thermally grown on aheavily doped Si substrate characterization and model, IEEE Trans. on Electron Devices, 1987.ED-34(7), 1540-1;51.[6]B. Ricco, Novel nechanism for tunning and breakdown of thin SiO2 filns, Phy. Rev. Lett., 1983.51(19), 1795-1798.[7]J.C. Lee, I. C. Chen, C. Hu, Model and characterization of gate oxide reliability, IEEE Trans.on Electron Devices, 1988, ED-35(12), 2268-2278.
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出版历程
  • 收稿日期:  1999-09-22
  • 修回日期:  2000-05-30
  • 刊出日期:  2001-11-19

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