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微波放电等离子体源的研究

吴锦发 张二力 甄汉生 管祚尧

吴锦发, 张二力, 甄汉生, 管祚尧. 微波放电等离子体源的研究[J]. 电子与信息学报, 1987, 9(5): 458-464.
引用本文: 吴锦发, 张二力, 甄汉生, 管祚尧. 微波放电等离子体源的研究[J]. 电子与信息学报, 1987, 9(5): 458-464.
Wu Jinfa, Zhang Erli, Zhen Hansheng, Guan Zuoyao. RESEARCH ON MICROWAVE PLASMA SOURCE[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1987, 9(5): 458-464.
Citation: Wu Jinfa, Zhang Erli, Zhen Hansheng, Guan Zuoyao. RESEARCH ON MICROWAVE PLASMA SOURCE[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1987, 9(5): 458-464.

微波放电等离子体源的研究

RESEARCH ON MICROWAVE PLASMA SOURCE

  • 摘要: 利用电子迴旋共振(ECR)的原理,在10-310-1Pa的低压强下,已成功地产生了高活性,高密度的微波等离子体。运用静电探针装置,研究了N2、Ar放电中微波功率、气体压强对等离子体参量的影响,并对放电等离子体进行了质谱分析。
      关键词:
    •  
  • 张二力,吴锦发,甄汉生,真空科学与技术,1985年,第6期,第49页.[2]吴锦发等,微细加工技术,1985年,第2期,第6页.[3]甄汉生等,电子科学学刊,9(1987), 135.[4]项志遴等著,高温等离子体诊断技术,上海科学技术出版社,1982.[5]铃木敬三等,电子材料(日),20(1981)5,111.[6]管柞尧等,北京真空学会技术报告,1985,7.[7]C. Cohen, Electronics, 54(1951)22, 82.[8]M. Miyamura et al., J. Vac. Sci. Technol., 20(1982), 986.
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出版历程
  • 收稿日期:  1985-10-08
  • 修回日期:  1900-01-01
  • 刊出日期:  1987-09-19

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