微波放电等离子体源的研究
RESEARCH ON MICROWAVE PLASMA SOURCE
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摘要: 利用电子迴旋共振(ECR)的原理,在10-310-1Pa的低压强下,已成功地产生了高活性,高密度的微波等离子体。运用静电探针装置,研究了N2、Ar放电中微波功率、气体压强对等离子体参量的影响,并对放电等离子体进行了质谱分析。
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关键词:
Abstract: Using the priciple of electron cyclotron resonance, the microwave plasma with high degree of ionization and activity is obtained under the lower pressure from 10-3 to 10-4 Pa. In this paper, the influences of the microwave input power and gas pressures on the parameters of plasma in nitrogen and argon are studied with Langmuir probe, and mass spectrographic analysis is also made. -
张二力,吴锦发,甄汉生,真空科学与技术,1985年,第6期,第49页.[2]吴锦发等,微细加工技术,1985年,第2期,第6页.[3]甄汉生等,电子科学学刊,9(1987), 135.[4]项志遴等著,高温等离子体诊断技术,上海科学技术出版社,1982.[5]铃木敬三等,电子材料(日),20(1981)5,111.[6]管柞尧等,北京真空学会技术报告,1985,7.[7]C. Cohen, Electronics, 54(1951)22, 82.[8]M. Miyamura et al., J. Vac. Sci. Technol., 20(1982), 986. -
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