高级搜索

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

非有意掺杂LEC SI GaAs中EL2分布特性的研究

杨瑞霞 付濬 李光平

杨瑞霞, 付濬, 李光平. 非有意掺杂LEC SI GaAs中EL2分布特性的研究[J]. 电子与信息学报, 1995, 17(1): 92-97.
引用本文: 杨瑞霞, 付濬, 李光平. 非有意掺杂LEC SI GaAs中EL2分布特性的研究[J]. 电子与信息学报, 1995, 17(1): 92-97.
Yang Ruixia, Fu Jun, Li Guangping. STUDY ON DISTRIBUTION CHARACTERISTICS OF EL2 IN UNDOPED LEC SI GaAs[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1995, 17(1): 92-97.
Citation: Yang Ruixia, Fu Jun, Li Guangping. STUDY ON DISTRIBUTION CHARACTERISTICS OF EL2 IN UNDOPED LEC SI GaAs[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1995, 17(1): 92-97.

非有意掺杂LEC SI GaAs中EL2分布特性的研究

STUDY ON DISTRIBUTION CHARACTERISTICS OF EL2 IN UNDOPED LEC SI GaAs

  • 摘要: 测量比较了不同条件下热处理后非有意掺杂半绝缘(SI)LEC GaAs中EL2浓度及其分布的变化,为了分析这一变化,还检测了位错和As沉淀的分布。在实验结果基础上,对EL2分布不均匀性的起源和热处理改善EL2分布均匀性的机理进行了讨论。
  • Lagowski J, Gats H C, Parsey J M, et al. Appl. Phys. Lett., 1982, 40(4): 342-344.[2]Von Bardeleben H J, Stievenard D, liourgoin J C, et al. Appl. Phys. Lett.,1985, 47(9):970-972.[3]Zhou Yuanxi. Mater[J].Lett.1987, 5:203-[4]Martin G M. Appl[J].Phys. Lett.1981, 39(9):747-748[5]Tal B, Hobgood HM, Rohatgi A, et al. J. Appl. Phys. 1982, 53(8): 5771-5775.[6]Kazutaka Terashima, Johji Nishio, Akira Okada, et al. J. Crystal. Growth., 1986, 79(1-3): 465-468.[7]Holmes D E, Chen R T. IEEE Trans. on ED, 1982, ED-29(7): 1045-1050.[8]Tomaki Inada, Yohi Otoki, Katsumi Ohata. J. Crytal[J].Growth.1989, 96(2):327-332[9]Kitagawara Y, Takahashi T, Kuwabara S, et al. Effects of thermal history on the electrical properties of dislocation-free In-deped LEC GaAs. in Semi-insulating III-Ⅴ Materials, edited by Grossmann G., Ledebo L. Bristol: Hilger, 1988, 49-54.[10]Duseaux M, Martin S, Cheralier J P. Microprecipitates in Bulk GaAs, in Semi-insulating Ⅲ-Ⅴ,Materials, edited by Kukimoto H., Miyazawa S., Tokyo: Obmsha, 1986, 221-226.[11]Yamada K. Osaka J[J].J. Appl. Phys.1988, 63(8):2609-2614[12]Alt H Ch, Packetser G. J. Appl. Phys., 1986, 60(8): 2954-2958.[13]Wads K, moue N. Appl. Phys. Lett., 1985, 47(9): 945-947.[14]Yasumasa Okada, Yozo Tokumaru, Yoshinori Kadata. Appl[J].Phys. Lett.1985, 48(15):975-977[15]Clark S. J. Crystal Growth, 1990, 103(1-4): 102-108.[16]Zettlemoyer A C. Nucleation. New York: Marcel Decker, 1969.[17]Lee BT, Gronskey R, Bourret ED. J. Appl. Phys., 1988[18](1): 114-118.
  • 加载中
计量
  • 文章访问数:  2149
  • HTML全文浏览量:  113
  • PDF下载量:  371
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  1993-07-11
  • 修回日期:  1994-01-17
  • 刊出日期:  1995-01-19

目录

    /

    返回文章
    返回