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非有意掺杂LEC SI GaAs中EL2分布特性的研究

杨瑞霞 付濬 李光平

杨瑞霞, 付濬, 李光平. 非有意掺杂LEC SI GaAs中EL2分布特性的研究[J]. 电子与信息学报, 1995, 17(1): 92-97.
引用本文: 杨瑞霞, 付濬, 李光平. 非有意掺杂LEC SI GaAs中EL2分布特性的研究[J]. 电子与信息学报, 1995, 17(1): 92-97.
Yang Ruixia, Fu Jun, Li Guangping. STUDY ON DISTRIBUTION CHARACTERISTICS OF EL2 IN UNDOPED LEC SI GaAs[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1995, 17(1): 92-97.
Citation: Yang Ruixia, Fu Jun, Li Guangping. STUDY ON DISTRIBUTION CHARACTERISTICS OF EL2 IN UNDOPED LEC SI GaAs[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1995, 17(1): 92-97.

非有意掺杂LEC SI GaAs中EL2分布特性的研究

STUDY ON DISTRIBUTION CHARACTERISTICS OF EL2 IN UNDOPED LEC SI GaAs

  • 摘要: 测量比较了不同条件下热处理后非有意掺杂半绝缘(SI)LEC GaAs中EL2浓度及其分布的变化,为了分析这一变化,还检测了位错和As沉淀的分布。在实验结果基础上,对EL2分布不均匀性的起源和热处理改善EL2分布均匀性的机理进行了讨论。
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出版历程
  • 收稿日期:  1993-07-11
  • 修回日期:  1994-01-17
  • 刊出日期:  1995-01-19

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