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激光再结晶和氢退火对多晶硅电学性质的影响

方芳 林成鲁 沈宗雍 邹世昌

方芳, 林成鲁, 沈宗雍, 邹世昌. 激光再结晶和氢退火对多晶硅电学性质的影响[J]. 电子与信息学报, 1986, 8(1): 45-51.
引用本文: 方芳, 林成鲁, 沈宗雍, 邹世昌. 激光再结晶和氢退火对多晶硅电学性质的影响[J]. 电子与信息学报, 1986, 8(1): 45-51.
Fang Fang, Lin Chenglu, Slien Zongyong, Zou Shichang. THE INFLUENCE OF LASER RECRYSTALLIZATION AND PLASMA HYDROGEN ANNEALING ON THE ELECTRICAL PROPERTIES OF POLYSILICON[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1986, 8(1): 45-51.
Citation: Fang Fang, Lin Chenglu, Slien Zongyong, Zou Shichang. THE INFLUENCE OF LASER RECRYSTALLIZATION AND PLASMA HYDROGEN ANNEALING ON THE ELECTRICAL PROPERTIES OF POLYSILICON[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1986, 8(1): 45-51.

激光再结晶和氢退火对多晶硅电学性质的影响

THE INFLUENCE OF LASER RECRYSTALLIZATION AND PLASMA HYDROGEN ANNEALING ON THE ELECTRICAL PROPERTIES OF POLYSILICON

  • 摘要: 连续Ar+激光再结晶能使多晶硅的电阻率下降,迁移率显著增高,对离子注入剂量为5101151015cm-2的多晶硅经激光再结晶后再进行等离子氢退火,能使其电学性质得到进一步改善,更接近于单晶硅.掺杂浓度为11017cm-3时,电阻率从1.2cm下降到0.45cm,迁移率从 62cm2/Vs增高到 271cm2/Vs,电激活能从 0.03eV下降到-0.007eV,晶界陷阱态密度从3.71011cm-2下降到 1.71011cm-2)。本文在现有多晶硅导电模型的基础上.提出了大晶粒(L=15m)多晶硅的计算公式。结果表明,在掺杂浓度在1101611020cm-3的范围内,理论和实验符合较好。
      关键词:
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  • 邹世昌,沈宗雍,林成鲁,倪如山,林梓鑫,姚良骐,朱桂枫,电子学报,1983年,第5期,第1页.[2]S. Kawamura, N. Sasaki, T. Iwai, M. Nakano and M. Takagi, IEEE Electron Device Letters,EDL-4 (1983 ), 366.[3]中野元雄,电子材料,23(1984), 54.[4]J.Y. W. Seto, J. Appl. Phys., 46(1975), 5247.[5]N. C. C. Lu, L. Gerzberg, C. Y. Lu and J. D. Meindl, IEEE Trans. on ED, ED-28 (1981), 818.[6]M. M. Mandurah, K. C. Saraswat and T. I. Kamins, ibid ED-28 (1981), 1163.[7]N. C. C. Lu, L. Gerzberg, C. Y. Lu and J. D.Meindl, ibid, ED-30(1983), 137.[8]J. P. Colinge, E. Demoulin and H. Morel, IEDM Tech. Dig., Dec. 1982.[9]J. G. Fossum and A. O. Conde, IEEE Trans. on ED, ED-30(1983), 933.
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出版历程
  • 收稿日期:  1900-01-01
  • 修回日期:  1900-01-01
  • 刊出日期:  1986-01-19

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