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用于氨氮检测的三维微纳氨气传感芯片及系统研究

卞贺明 边超 佟建华 孙楫舟 张虹 韩泾鸿 夏善红

卞贺明, 边超, 佟建华, 孙楫舟, 张虹, 韩泾鸿, 夏善红. 用于氨氮检测的三维微纳氨气传感芯片及系统研究[J]. 电子与信息学报, 2012, 34(5): 1257-1262. doi: 10.3724/SP.J.1146.2011.00934
引用本文: 卞贺明, 边超, 佟建华, 孙楫舟, 张虹, 韩泾鸿, 夏善红. 用于氨氮检测的三维微纳氨气传感芯片及系统研究[J]. 电子与信息学报, 2012, 34(5): 1257-1262. doi: 10.3724/SP.J.1146.2011.00934
Bian He-Ming, Bian Chao, Tong Jian-Hua, Sun Ji-Zhou, Zhang Hong, Han Jing-Hong, Xia Shan-Hong. Miniaturized 3D Micro/Nano Ammonia Sensor Chip and System for Measurement of Ammonia Nitrogen[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 2012, 34(5): 1257-1262. doi: 10.3724/SP.J.1146.2011.00934
Citation: Bian He-Ming, Bian Chao, Tong Jian-Hua, Sun Ji-Zhou, Zhang Hong, Han Jing-Hong, Xia Shan-Hong. Miniaturized 3D Micro/Nano Ammonia Sensor Chip and System for Measurement of Ammonia Nitrogen[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 2012, 34(5): 1257-1262. doi: 10.3724/SP.J.1146.2011.00934

用于氨氮检测的三维微纳氨气传感芯片及系统研究

doi: 10.3724/SP.J.1146.2011.00934
基金项目: 

国家973计划项目(2009CB320300)和国家自然科学基金(60971070, 61072023)资助课题

Miniaturized 3D Micro/Nano Ammonia Sensor Chip and System for Measurement of Ammonia Nitrogen

  • 摘要: 该文设计并制备了一种多层微结构的安培型氨气三维微纳传感芯片,并构建了以此微传感芯片为敏感单元的氨氮检测系统,探索了使用安培型氨气微传感器检测氨氮的方法。该微传感芯片采用微纳加工工艺制备,使用聚合物键合工艺在较低温度下实现了微传感器多层结构的封装。使用纳米铱作为传感器的敏感材料,其具有良好的电催化氧化能力,可使传感器具有较高的灵敏度。对Ag/AgCl微参比电极的稳定性进行了考察。使用自行设计的氨氮检测系统对氨氮样品进行检测,对微传感器的时间响应特性、浓度响应特性、重复性及选择性进行了测试和分析。实验结果表明,在0.5~10 mg/L的测试范围内,检测电流与氨氮浓度保持良好的线性,灵敏度为1.62 A/(mg/L),线性相关系数为0.995,重复性偏差为5.73%。同时,传感器显示出良好的选择性。
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出版历程
  • 收稿日期:  2011-09-09
  • 修回日期:  2011-11-24
  • 刊出日期:  2012-05-19

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