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非晶硅少子扩散长度的测量

徐乐 刘启一

徐乐, 刘启一. 非晶硅少子扩散长度的测量[J]. 电子与信息学报, 1984, 6(3): 247-249.
引用本文: 徐乐, 刘启一. 非晶硅少子扩散长度的测量[J]. 电子与信息学报, 1984, 6(3): 247-249.
Xu Le, Liu Qi-Yi. MEASUREMENT OF DIFFUSION LENGTH OF HOLES IN a-Si:H[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1984, 6(3): 247-249.
Citation: Xu Le, Liu Qi-Yi. MEASUREMENT OF DIFFUSION LENGTH OF HOLES IN a-Si:H[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1984, 6(3): 247-249.

非晶硅少子扩散长度的测量

MEASUREMENT OF DIFFUSION LENGTH OF HOLES IN a-Si:H

  • 摘要: 正 (一)引言 非晶硅少子扩散长度对非晶硅太阳电池的性能有重要影响,它是表征非晶硅材料质量的重要参数。最近Dresner和Moore分别用表面光电压法(SPV法)测量非晶硅少于扩散长度获得成功。但前者需要超高真空系统,样品表面要经过溅射和退火,后者使用非晶硅液体肖特基势垒,装置较烦。我们试用顶层淀积了金属镍的非晶硅薄膜作样品,利用镍和非晶硅膜构成的金属肖特基势垒进行表面光电压测量,获得成功。这样
      关键词:
    •  
  • J. Dresner, D. J. Szostak and B. Goldstein, Appl. Phys. Lett., 38(1981), 998.[3]A. R. Moore, Appl. Phys. Lett., 40(1982), 403.[7]R. O. Bell, Appl. Phys. Lett., 36(1980), 936.
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出版历程
  • 收稿日期:  1983-11-11
  • 刊出日期:  1984-05-19

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