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浸渍钡钨阴极蒸发性能的AES分析

张永康 朱清元 张贻英

张永康, 朱清元, 张贻英. 浸渍钡钨阴极蒸发性能的AES分析[J]. 电子与信息学报, 1987, 9(1): 42-51.
引用本文: 张永康, 朱清元, 张贻英. 浸渍钡钨阴极蒸发性能的AES分析[J]. 电子与信息学报, 1987, 9(1): 42-51.
Zhang Yongkang, Zhu Qingyuan, Zhang Yiying. RESEARCH ON THE EVAPORATION PROPERTY OF IMPREGNATED DISPENSER CATHODE BY AES[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1987, 9(1): 42-51.
Citation: Zhang Yongkang, Zhu Qingyuan, Zhang Yiying. RESEARCH ON THE EVAPORATION PROPERTY OF IMPREGNATED DISPENSER CATHODE BY AES[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1987, 9(1): 42-51.

浸渍钡钨阴极蒸发性能的AES分析

RESEARCH ON THE EVAPORATION PROPERTY OF IMPREGNATED DISPENSER CATHODE BY AES

  • 摘要: 利用俄歇能谱就地定性、定量地测量了浸渍钡钨阴极(4.56∶1.44∶2)的蒸发成分和速率。得到的主要结果是:(1)老炼初期和寿命初期蒸发率可相差半个量级,前者的蒸发能为4.34eV,而后者为4.58eV;(2)蒸发物成分随阴极温度不同而变化,高温激活时,氧化钡在蒸发物中的比例缓慢减少,但Ca的蒸发增加,1250℃时,约占3.5%,在工作温度范围内,90%左右为金属钡,氧化钡约占9.3%;(3)与50年代蒸发测量相比,AES法得到的BaO蒸发量少得多,但与热力学理论计算的结果一致;(4)与AES计量的5∶3∶2,4∶1∶1阴极相比,所研究的阴极(4.56∶1.44∶2)的Ca蒸发量少得多,这是该阴极的特点;(5)逸出功测量和AST曲线都表明,当吸附了约1.51014at./cm2的钡时,多晶钨表面已建立一个由吸附原子形成的均匀的屏蔽场。
      关键词:
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  • J. A. Th. Verhoeven and H. Van Doveren, Appl. Surf. Sci., 8(1981), 95.[2]张永康,朱清元,张贻英,中国真空学会第二届年会论文集,一卷,1983, 10,第35页.[3]胡汉泉,王迁主编,真空物理与技术及其在电子器件中的应用,下册,第十一章,国防工业出版社,1985,4.[4]M. P. Seah and W. A. Dench, Surf. and Interface Analysis, 1(1979), 2.[5]D. R. Penn, J. Elect. Spectr. Related Phenom., 9(1976), 29.[6]F. Londry and A. J. Slavin, J. Vac. Sci. Techn., A, 1(1983), 44.[7]B. Carri6re, A. Chouiyakn and B. Lang, Surf.Sci., 126(1983), 495.[8]G. L. Jones and J. T. Grant, Appl. Surf. Sci., 16(1983), 25.[9]张永康等,真空科学与技术,2(1982), 61.[10]Zhang Yongkang, et al., The Proceeding of the Surf, Sci. Symp., Palo Alto, 1981, p. 83.[11]张贻英,朱清元,张永康,中国真空学会第二届年会论文集,一卷,1983.10,第191页.[12]陈隆华,杨家珍,前向波放大器和钡钨阴极学术交流会论文集,1912.12.[13]I. Brodie and R. O. Jenkins, J. Electronics 3(1957), 457.[14]D. A. Gorodetsky, et al., Surf. Sci., 85(1979), 2503.[15]I. Brodie, R. O. Jenkins and W. G. Trodden, J. Elect. Control, 6(1959), 149.[16]G. A. Somorjai, Chemistry in Two Dimensions Surfaces, 1981, Cornell Univ. Press.
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出版历程
  • 收稿日期:  1985-01-14
  • 修回日期:  1985-04-19
  • 刊出日期:  1987-01-19

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