微系统技术是一门多学科高度交叉的前沿学科领域,其利用先进的微细加工技术将微电子、微机械和微光学集成在一起来完成常规的和特殊的功能，可优质高产低耗，大大地提高系统的可靠性和智能化功能，已经成为电子领域十分活跃的发展方向之一，它将对现代电子技术产生十分重要的影响。该技术无论在电子产品，还是在系统装备等很多方面都发挥极其重要作用，并得到电子工程师的高度重视，为此，中国电子学会拟于 2015 年 7 月 24-26 日在北京举办“2015 全国传感器与微系统(MEMS)技术应用大会暨 2015 中国微系统技术工程师年会，现将有关事宜通知如下：
一、大会主题：拓宽研发思路 提高应用能力
二、时间地点：2015 年 7 月 24-26 日 24 日报道 地点：北京
三、大会组织机构：
主办单位：中国电子学会
承办单位：中国电子学会会员与组织机构服务中心
中国电子学会敏感技术分会
协办单位：麦姆斯咨询
四、大会主席：尤政 清华大学院士
大会副主席：范茂军 中国电子科技集团公司第 3 研究所
五、大会交流形式
1．特邀演讲：大会将邀请国内微系统技术领域的著名专家，就微系统技术的应用和最新动态做特邀报告。
2．宣传展示：邀请微系统技术相关科研单位和高新技术企业，宣传展示他们在微系统技术领域的研究成果、新产品和市场化内容。
3．大会发表的新成果、新产品、新技术及研究报告
六、拟邀请大会报告
1．题目：待定
报告人：尤 政 清华大学院士
摘要：
2．题目：硅基 MEMS 加工技术及趋势
报告人：郝一龙 北京大学
摘要：
3． 题目：生物化学微传感器集成芯片系统研究与应用
报告人：夏善红 中科院电子所
摘要：若干典型应用为例，介绍生物化学微传感器集成芯片系统的检测原理、基本结构、制备方法、测试结果等，分析相关的科学技术难点，展望未来发展。
4．题目：MEMS 微型燃料电池研究进展
报告人：刘晓为 哈尔滨工业大学
摘要：
5．题目：智能手机中的 MEMS 技术：现在与未来
报告人：黄庆安 东南大学
摘要：报告主要有三个方面：（1）iPhone 6 Plus 中 MEMS 技术以及相关技术进展，包括 RF MEMS 技术（滤波器、振荡器、开关、天线），惯性 MEMS 技术（陀螺、加速度传感器），光 MEMS 技术（扫描镜、光传感器、红外传感器阵列），声 MEMS 技术（麦克风、扬声器），动力 MEMS技术（微型燃料电池、能量收集技术），以及磁场传感器、气压传感器、温湿度传感器。（2）未来智能手机中的 MEMS 技术。（3）智能手机 MEMS技术的发展对医疗与健康监护、汽车、航空航天、工业、物联网、军事等领域可能的冲击。
6．题目：射频微系统技术研究
报告人：朱 键 中国电子科技集团公司第 55 研究所
摘要：射频微机电系统器件以其线性高、损耗少、功耗小等特点在诸如射频开关、调谐器、滤波器和移相器等很多应用领域都有非常突出的优势。新一代射频微系统发展的趋势是将射频微机电系统器件及加工技术与微电子、光电子、算法与构架融合集成，实现具有革命性功能的集成射频微系统。集成射频微系统将成为雷达、传感器、信号智能、GPS导航、引导、瞄准系统和宽频高速通讯等系统向高性能、低成本、低功耗方向发展的主要支撑技术之一。本次报告将对射频微系统技术发展进行概述，重点介绍射频微系统三维集成技术难点以及国内外发展现状，并分析未来应用前景。
7． 题目：用原始科技创新来解决传感器产业化面临的核心问题
报告人：李昕欣 上海微系统所
摘要：以报告人近期在传感技术国家重点实验室的科研工作成果介绍为线索，重点阐述三个部分内容：1）发明“MEMS 微创手术”单芯片批产工艺，可以在标准半导体 foundry 厂廉价制造系列具有国际市场竞争力的物理量传感器，为智能手机、汽车电子和工业提供传感器产品化的关键共性技术；2）面对生化传感器没有物理传感器产业化那样成功的局面，聚焦生化敏感材料缺乏定量化的设计模型这个关键问题，提出并实现了一种用谐振传感器快速提取分子特异性作用热力学与动力学整套参数的新方法，用反映生化传感器敏感作用背后实质的物理化学参数来指导传感器性能的全面优化设计；3）发明一种内含自感知功能的微型能量采集器，基于 E-to-I 概念巧妙实现了具有重要监控应用功能的无源无线自报警传感网节点技术。
8． 题目：智能化微纳传感器技术应用展望
报告人：吴亚林 中国电子科技集团公司第 49 研究所
摘要：
9． 题目：中国微纳制造技术发展状况与发展战略
报告人:孙立宁 苏州大学
摘要:本报告重点介绍在国家“863”计划的支持下，我国在微纳设计、加工、测试、封装、器件与系统等方面的研究进展以及产业化、基地建设等方面的情况。结合国家十二五科技发展规划，介绍我国微纳制造技术领域的发展战略。
10．题目：微振镜及其在投影显示中的应用
报告人：乔大勇 西北工业大学
摘要：相比于传统压电振镜，基于 MEMS 技术的微振镜具有体积小，重量轻，能耗低和批量制造的优势，在激光投影，3D 激光扫描和医学成像等领域具有广泛的应用价值。本报告主要基于静电梳齿驱动的MEMS 振镜，介绍微振镜的设计技术，制造技术和封装技术。并使用微振镜，研制了三色激光融合光学系统和高速激光调制控制系统，实现了320*240 分辨率的三色激光投影显示。
11．题目：压电材料及微纳器件应用
报告人：郭 航 厦门大学
摘要：
12．题目：面向高性能微传感器的微结构优化设计
报告人：赵 剑 大连理工大学
摘要：微传感器的设计与智能敏感材料的结构形式、材料布局和弹性元件等密切相关，多参数耦合影响使得高精度高性能微传感器的设计尤为困难。因而，迫切需要有效的设计方法来实现微传感器的高性能化设计。结构拓扑优化技术可以通过改变结构尺寸、形状、拓扑以及材料属性来改善传感器的性能指标，已成功应用于多物理场耦合设计、特定或特异性能的微结构设计、压电智能材料设计等领域。本次汇报主要围绕高性能微传感器的设计方法展开，包括：（1）高性能微传感器研究进展（谐振式微质量传感器、微加速度传感器、非线性微驱动器）（2）结构优化（拓扑优化）技术在高性能微传感器设计中的应用；（3）基于多稳态力学特征的非线性微结构与功能一体化设计方法研究；（4）高灵敏度微传感器优化设计。
13．题目： 本土 MEMS 产业链整合的先锋
报告人：李 刚 苏州敏芯微电子技术有限公司
摘要 ：以苏州敏芯创业过程中遇到的产业链问题为线索，重点阐述四个部分内容：1）国内 MEMS 产业链逐渐建立的简单过程。2）苏州敏芯在量产过程中遇到的问题，以及如何参与并在技术上推动国内 MEMS 产业链的形成。3）敏芯利用国内产业链实现量产的技术及产品介绍4）敏芯在高端传感器方面作为技术提供方，可以继续推动国内高端传感器产业链的行成。
七、会务事项：
收费标准：1980 元/人，会议期间食宿费用自理。
收款单位：中国电子学会 开户行：工商行北京公主坟支行
账 号：0200004609089100591
会议咨询：骆 阳
电 话：010-83687512 传 真：010-83687513
手 机：13521652196 Email: ly_job@163.com
八、会议日程见附件。
中国电子学会
2015年5月5日
