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在超高真空中用加热银管获得纯氧的方法和气体的质谱分析

范荣团 王智敏 杨自健

范荣团, 王智敏, 杨自健. 在超高真空中用加热银管获得纯氧的方法和气体的质谱分析[J]. 电子与信息学报, 1983, 5(1): 54-57.
引用本文: 范荣团, 王智敏, 杨自健. 在超高真空中用加热银管获得纯氧的方法和气体的质谱分析[J]. 电子与信息学报, 1983, 5(1): 54-57.
Fan Rong-Tuan, Wang Zhi-Min, Yang Zi-Jian. A METHOD OF OBTAINING PURE OXYGEN BY HEATING SILVER TUBE AND GASES ANALYSIS BY MASS SPECTROMETRY IN THE ULTRA-HIGH-VACUUM SYSTEM[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1983, 5(1): 54-57.
Citation: Fan Rong-Tuan, Wang Zhi-Min, Yang Zi-Jian. A METHOD OF OBTAINING PURE OXYGEN BY HEATING SILVER TUBE AND GASES ANALYSIS BY MASS SPECTROMETRY IN THE ULTRA-HIGH-VACUUM SYSTEM[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1983, 5(1): 54-57.

在超高真空中用加热银管获得纯氧的方法和气体的质谱分析

A METHOD OF OBTAINING PURE OXYGEN BY HEATING SILVER TUBE AND GASES ANALYSIS BY MASS SPECTROMETRY IN THE ULTRA-HIGH-VACUUM SYSTEM

  • 摘要: 正 (一)引言 我们知道,在真空条件下可以由化学反应产生氧,例如,加热氧化亚铜、氧化锰或过氧化钡等;也可通过真空阀门向真空室内放入纯氧;而通过加热银管向系统内放入高纯氧则是较简便的方法,这是本文所要讨论的内容。当然,更新的获取高纯氧的方法是用氧化钙稳定氧化锆作渗透膜。 (二)实验技术和结果 我们的实验系统如图1所示。它包括抽速为60l/s的三极式溅射钛离子泵(日本
      关键词:
    •  
  • [2」R. J. Brook et al., J. Electrochem. Sec., 118(1971),185.[3]L. C. Beavis, Rev. Sci. Instr., 43(1972), 122.
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出版历程
  • 收稿日期:  1981-10-23
  • 刊出日期:  1983-01-19

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