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多极静电偏转器获得均匀偏转场的方法

蒋欣荣 那兆凤

蒋欣荣, 那兆凤. 多极静电偏转器获得均匀偏转场的方法[J]. 电子与信息学报, 1987, 9(2): 140-148.
引用本文: 蒋欣荣, 那兆凤. 多极静电偏转器获得均匀偏转场的方法[J]. 电子与信息学报, 1987, 9(2): 140-148.
Jiang Xinrong, Na Zhaofeng. MULTIPOLE ELECTROSTATIC DEFLECTORS FOR OBTAINING UNIFORM DEFLECTION FIELD[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1987, 9(2): 140-148.
Citation: Jiang Xinrong, Na Zhaofeng. MULTIPOLE ELECTROSTATIC DEFLECTORS FOR OBTAINING UNIFORM DEFLECTION FIELD[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1987, 9(2): 140-148.

多极静电偏转器获得均匀偏转场的方法

MULTIPOLE ELECTROSTATIC DEFLECTORS FOR OBTAINING UNIFORM DEFLECTION FIELD

  • 摘要: 本文推导了两种类型的多极静电偏转器在无穷长情况下场分布的普遍解;提供了多极静电偏转器在光轴附近获得均匀偏转场的方法;计算了六种实用的多极静偏器,给出了有关公式和数据,分析了两种多极静偏器之间的联系和区别。
      关键词:
    •  
  • E. Goto, et al., J. Vac. Sci. Technol., B1(1983), 1289.[2]T. Hosokawa, et al., ibid., B1(1983), 1293.[3]M. Idesawa, et al., ibid., B1(1983), 1322.[4]J. C. Eidson, et al., ibid., 19(1981), 932.[5]S. Moriya, et al., ibid., B1(1983), 990.[6]G. Owen, et al., ibid., 19(1981), 1064.[7]R. G. E. Hutter, In advances in Image Pickup and Display, Vol. 1, p. 202, Edited by B. Kazan, 1974.
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出版历程
  • 收稿日期:  1985-06-05
  • 修回日期:  1985-10-16
  • 刊出日期:  1987-03-19

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