一种水冷空腔电弧阴极

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一种水冷空腔电弧阴极

王殿儒, 曹尔研, 张福, 田大准

文章导航 > 电子与信息学报 > 1983 > 5(6): 407-408

王殿儒, 曹尔研, 张福, 田大准. 一种水冷空腔电弧阴极[J]. 电子与信息学报, 1983, 5(6): 407-408.

引用本文:

王殿儒, 曹尔研, 张福, 田大准. 一种水冷空腔电弧阴极[J]. 电子与信息学报, 1983, 5(6): 407-408.

Wang Dian-Ru, Cao Er-Yan, Zhang Fu, Tian Da-Zhun. A WATER-COOLED ARC CATHODE[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1983, 5(6): 407-408.

Citation:

Wang Dian-Ru, Cao Er-Yan, Zhang Fu, Tian Da-Zhun. A WATER-COOLED ARC CATHODE[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1983, 5(6): 407-408.

王殿儒, 曹尔研, 张福, 田大准. 一种水冷空腔电弧阴极[J]. 电子与信息学报, 1983, 5(6): 407-408.

引用本文:

王殿儒, 曹尔研, 张福, 田大准. 一种水冷空腔电弧阴极[J]. 电子与信息学报, 1983, 5(6): 407-408.

Wang Dian-Ru, Cao Er-Yan, Zhang Fu, Tian Da-Zhun. A WATER-COOLED ARC CATHODE[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1983, 5(6): 407-408.

Citation:

Wang Dian-Ru, Cao Er-Yan, Zhang Fu, Tian Da-Zhun. A WATER-COOLED ARC CATHODE[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1983, 5(6): 407-408.

一种水冷空腔电弧阴极

王殿儒^①曹尔研,
曹尔研,
张福,
田大准

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出版历程
- 收稿日期: 1982-08-03
- 刊出日期: 1983-11-19

A WATER-COOLED ARC CATHODE

摘要: 正大电流电子源是高功率氩离子激光器、离子镀膜装置、真空冶炼设备等的关键部件。目前多数是采用热阴极,现在介绍一种水冷杯状空腔电弧阴极。设计空腔电弧阴极主要考虑:散热、绝缘、防止烧蚀、消除污染、限制弧斑运动、稳定电弧、启动电弧等因素。本文设计的阴极如图1所示。图中1是水冷杯状金属空腔,其内壁面是阴极的发射面。在阴极出口孔内,装有自加热衬套2,用它来把阴极斑约束在空腔内。3是绝缘垫
Abstract: This paper presents a water-cooled are cathode operating in a condition of lowpressure continuous discharge. It has been used successfully in a full metal argon ion laser and an ion plating equipment.

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