用一维方法计算一些迴转型静电偏转场问题
CALCULATION OF ROTATIONAL ELECTROSTATIC DEFLECTION FIELDS BY USING ONE-DIMENSIONAL METHOD
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摘要: 本文介绍了将一些迴转型静电偏转场问题归结成圆筒模型,给出了用一维方法计算三维静电偏转场的方法,并解决了计算中比较棘手的奇点处理问题。实例计算表明,这种方法简便、精确,具有较大的概括性和实用性。Abstract: Calculation of some rotational electostatic defflection fields by the use of one dimensional method is put forward, and the difficulty in singular point has been overcome. The calculation example shows that the method is simple and practical.
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蒋欣荣,微细加工技术,1987年,第3-4期,第14页;或Jiang Xinrong, J. Vac. Sci.Tcchnol., B6 (1988),422.[2]蒋欣荣,那兆凤,微细加工技术,1986年,第2期,第6页;或Jiang Xinrong, Na Zhaofeng, J. Vac. Sci. Tcchnol., B5(1987), 156.[3][3J E.Munro et al., Optik, 60(1982),1.[4]蒋欣荣,那兆凤,电子学报,1987年,第6期,第98页. -
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