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光学法检测光阴极的研究

高鲁山 刘力滨 王仲春

高鲁山, 刘力滨, 王仲春. 光学法检测光阴极的研究[J]. 电子与信息学报, 1989, 11(1): 50-56.
引用本文: 高鲁山, 刘力滨, 王仲春. 光学法检测光阴极的研究[J]. 电子与信息学报, 1989, 11(1): 50-56.
Gao Lushan, Liu Libin, Wang Zhongchun. RESEARCH ON OPTICAL METHOD OF MONITORING PHOTOCATHODE PROCESSES[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1989, 11(1): 50-56.
Citation: Gao Lushan, Liu Libin, Wang Zhongchun. RESEARCH ON OPTICAL METHOD OF MONITORING PHOTOCATHODE PROCESSES[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1989, 11(1): 50-56.

光学法检测光阴极的研究

RESEARCH ON OPTICAL METHOD OF MONITORING PHOTOCATHODE PROCESSES

  • 摘要: 文中讨论了光学法检测光阴极的原理,介绍了所设计的监测装置及对多碱光阴极制作过程中光学信息的检测,提出了利用光学法监控光阴极制作的具体方案。
  • P. Dolizy, Phillips Tech. Rev., 40 (1982), 19-22.[2]高鲁山,王仲春,工程光学,1982年,第2期,第71-81页.[3]M. Beghin et al., SPIE, 491(1984), 281-285.[4]钱思远等,中国光学学会年会论文选,上海,1985年,第213页.[5]高鲁山,李朝木,四碱光阴极的研究,电子学报,1986年,第5期,第27-37页.
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出版历程
  • 收稿日期:  1987-05-20
  • 修回日期:  1988-05-26
  • 刊出日期:  1989-01-19

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