电子束成象制作图形的新方法探索

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电子束成象制作图形的新方法探索

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孙毓平. 电子束成象制作图形的新方法探索[J]. 电子与信息学报, 1987, 9(5): 477-480.

引用本文:

孙毓平. 电子束成象制作图形的新方法探索[J]. 电子与信息学报, 1987, 9(5): 477-480.

Sun Yuping. A NEW METHOD FOR PATTERN MAKING BY USING ELECTRON BEAN IMAGING IN SiO2 FILM[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1987, 9(5): 477-480.

Citation:

Sun Yuping. A NEW METHOD FOR PATTERN MAKING BY USING ELECTRON BEAN IMAGING IN SiO2 FILM[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1987, 9(5): 477-480.

孙毓平. 电子束成象制作图形的新方法探索[J]. 电子与信息学报, 1987, 9(5): 477-480.

引用本文:

孙毓平. 电子束成象制作图形的新方法探索[J]. 电子与信息学报, 1987, 9(5): 477-480.

Sun Yuping. A NEW METHOD FOR PATTERN MAKING BY USING ELECTRON BEAN IMAGING IN SiO2 FILM[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1987, 9(5): 477-480.

Citation:

Sun Yuping. A NEW METHOD FOR PATTERN MAKING BY USING ELECTRON BEAN IMAGING IN SiO2 FILM[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1987, 9(5): 477-480.

电子束成象制作图形的新方法探索

孙毓平

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出版历程
- 收稿日期: 1986-02-14
- 修回日期: 1986-08-04
- 刊出日期: 1987-09-19

A NEW METHOD FOR PATTERN MAKING BY USING ELECTRON BEAN IMAGING IN SiO2 FILM

Sun Yuping

摘要: 本文介绍了利用电子束成象在硅衬底上的薄二氧化硅膜中制作图形的一种新方法。所得的电子象,利用聚脂型反应媒介物并通过氢氟酸汽相腐蚀,不仅可以在二氧化硅膜上形成正图形,而且可以形成负图形。
Abstract: A new method for patterns making by using electron beam imaging in SiO2 film on silicon substrate is presented. The electron beam images in SiO2 film can form not only positive patterns but also negative patterns by using HF vapor etching and reactive media.

参考文献(1)

T. W. Okeeffe and R. M. Handy, Solid-State Electronics, 11(1968), 261.

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