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一种新的非均匀减薄法选择阳极氧化法

高凤升 龚秀英 葛永才

高凤升, 龚秀英, 葛永才. 一种新的非均匀减薄法选择阳极氧化法[J]. 电子与信息学报, 1991, 13(2): 221-224.
引用本文: 高凤升, 龚秀英, 葛永才. 一种新的非均匀减薄法选择阳极氧化法[J]. 电子与信息学报, 1991, 13(2): 221-224.
Gao Fengseng, Gong Xiuying, Ge Yongcai. A NEW TECHNIQUE FOR THINNING THE THICKNESS OF UNUNIFORM EPILAYERS--SELECTIVE ANODIC OXIDATION[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1991, 13(2): 221-224.
Citation: Gao Fengseng, Gong Xiuying, Ge Yongcai. A NEW TECHNIQUE FOR THINNING THE THICKNESS OF UNUNIFORM EPILAYERS--SELECTIVE ANODIC OXIDATION[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1991, 13(2): 221-224.

一种新的非均匀减薄法选择阳极氧化法

A NEW TECHNIQUE FOR THINNING THE THICKNESS OF UNUNIFORM EPILAYERS--SELECTIVE ANODIC OXIDATION

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出版历程
  • 收稿日期:  1989-04-30
  • 修回日期:  1990-09-28
  • 刊出日期:  1991-03-19

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