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采用悬挂金属掩模制作约瑟夫逊隧道结

时贤庆 杨彩炳 曹效能 马金娣 李羲之 黄继章 李小莉

时贤庆, 杨彩炳, 曹效能, 马金娣, 李羲之, 黄继章, 李小莉. 采用悬挂金属掩模制作约瑟夫逊隧道结[J]. 电子与信息学报, 1985, 7(4): 311-314.
引用本文: 时贤庆, 杨彩炳, 曹效能, 马金娣, 李羲之, 黄继章, 李小莉. 采用悬挂金属掩模制作约瑟夫逊隧道结[J]. 电子与信息学报, 1985, 7(4): 311-314.
Shi Xianqing, Yang Caibing, Cao Xiaoneng, Ma Jindi, Li Xizhi, Huang Jizhang, Li Xiaoli. FABRICATION OF JOSEPHSON TUNNEL JUNCTION WITH SUSPENDED METAL MASK[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1985, 7(4): 311-314.
Citation: Shi Xianqing, Yang Caibing, Cao Xiaoneng, Ma Jindi, Li Xizhi, Huang Jizhang, Li Xiaoli. FABRICATION OF JOSEPHSON TUNNEL JUNCTION WITH SUSPENDED METAL MASK[J]. Journal of Electronics & Information Technology, 1985, 7(4): 311-314.

采用悬挂金属掩模制作约瑟夫逊隧道结

FABRICATION OF JOSEPHSON TUNNEL JUNCTION WITH SUSPENDED METAL MASK

  • 摘要: 正 1.引言 近几年来由于约瑟夫逊隧道结在许多方面得到应用,特别是在新一代超级电子计算机上得到了应用,所以人们对制作小面积隧道结的技术产生了浓厚的兴趣。制作软金属超导隧道结,以IBM为代表已形成一套完整的工艺。但要用他们的办法重复地制作出实用的隧道结,必须有高级的专用设备和丰富的技术积累。一般单位在短期内是难以达到这样的技术水平的。1982年Gundlach(西德马克斯-普朗克学会)发表的文章仍在使用刀片制作的金属掩模。我们也曾经使用过这种掩模,但是用一般形式的金属掩模制作隧道结时,在氧化层势垒形成以后,必须打开镀膜机的钟罩,以便转换掩模制作上电极。这样氧化层势垒就容易受到大气污染。 为了克服这一缺点,我们用刀片拼装成的悬挂金属掩模来制作隧道结。这一技术具
      关键词:
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  • J. H. Greiner et al., IBM J. Res. Develop., 24(1980), 195.[2]K. H. Gundlach et al., Appl. Phys. Lett., 41(1982), 294.[3]杨彩炳等,Pb-In合金sIs结的初步研究,第三次超导隧道效应全国学术会议,1982.[4]G. M. Daalmans, Proc. of Second international Conference on Superconducting Quantum Interference Devices and their Applications, Berlin(West); May 6-9, 1980, p. 399, ed. by H.D. Hahlbohm and H. Lbbig.[5]J. T. C. Yeh, J.Appl. Phys. 45(1974 ), 4617.[6]G. J. Dolan, Appl. Phys. Lett., 31(1977 ), 337.
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出版历程
  • 收稿日期:  1984-02-13
  • 修回日期:  1985-01-14
  • 刊出日期:  1985-07-19

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