多能谱电子束能量分布的蒙特卡罗模拟和空间电荷效应
MONTE CARLO SIMULATION OF ENERGY SPECTRUM AND SPACE CHARGE EFFECT OF MULTI-ENERGY ELECTRON BEAMS
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摘要: 利用电子束穿越固体薄膜时,束电子与固体中的原子或电子之间的相互作用而产生能量改变,是获取多能谱电子束的一种方便可行的理想途径。通过改变薄膜材料或组份、薄膜厚度以及入射电子束的能量和方向等,可以得到各种不同能量分布的电子束。为了预测多能束的能量分布,我们采用蒙特卡罗模拟计算电子在固体中的散射效应。得到的透射系数和透射电子的能谱与实验测量结果一致。为计算多种能量电子共存空间的电位分布,我们对多能电子束在均匀电场或无场空间中的空间电荷效应进行了分析计算。Abstract: An approach to generate a multi-energy electron beam by transmitting a monoen-ergetic beam though a solid film is proposed. The energy (velocity) spectrum of the resultant beam is predicted by Monte Carlo simulation of electron scattering. The calculation accuracy is fairly good in comparison with available measurements. Space charge effect of a multi-energy electron beam in a uniform electrical field or field-free space has also been analyzed.
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康念坎, 等.多能谱电子束的获得和性能.第六届全国电子束离子束学术年会论文集.宜昌:1995, 21.[2]丁泽军. Monte Carla方法在微束分析中的应用.电子显微学报, 1996, 15(6): 125-132.[3]Shimizu R, Ding Zejun. Monte-Carlo modeling of electron-solid interaction[J].Reports on Progress in Physics.1992, 55(1):487-514[4]Shimizu R, et al. J. Phys[J].D: Appl. Phys.1976, 9(1):101-108 -
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